碳纳米管结构示意图:单个原子层卷起形成,相当于人类头发宽度的千分之一
给碳纳米管涂上表面活性剂,使之溶于水
氧化铪和二氧化硅组成的基底:沟槽中的“立柱”是起连接作用的化学键
基底浸入碳纳米管溶液,通过化学键结合
碳纳米管阵列形成
以后的晶圆可能就是这个样子了
IBM的研究员Hongsik Park
在化学实验室内观察对比不同的碳纳米管溶液
碳纳米管溶液
过滤碳纳米管溶液
以商用半导体工艺测试碳纳米管晶体管